TY - JOUR T1 - Deposition and characterization of SnO2:Sb thin films fabricated by the spray pyrolysis method TT - لایه ‌نشانی و مشخصه‌یابی لایه‌‌های نازک SnO2:Sb تهیه شده به روش اسپری پایرولیزیز JF - ijcmir JO - ijcmir VL - 27 IS - 3 UR - http://ijcm.ir/article-1-1339-fa.html Y1 - 2019 SP - 739 EP - 746 KW - thin film KW - tin oxide KW - antimony impurity. N2 - در این مطالعه لایه­های نازک نیمرسانای شفاف اکسید قلع آلاییده با ناخالصی آنتیموان بر روی زیر لایه­های شیشه­ای با غلظت­های متفاوت آنتیموان به روش اسپری پایرولیزیز تهیه شده­اند. اثر غلظت­های مختلف آنتیموان بر خواص ساختاری، اپتیکی و الکتریکی لایه­های نازک مورد مطالعه قرار گرفت. لایه­های تهیه شده توسط پراش پرتو ایکس (XRD)، میکروسکوپ الکترونی روبشی اثر میدان (FESEM) و جذب نوری (UV-vis) مشخصه­یابی شدند. آنالیز XRD نشان داد که نمونه­ها دارای ساختار بس­بلور با جهت­گیری­های ارجح صفحات (110)، (101)، (200)، (211) و (301) مربوط به فاز اکسید قلع می­باشند. اندازه بلورک­ها و دانه­ها با افزایش غلظت آنتیموان به ترتیب روندهای کاهشی و افزایشی نشان دادند. مطالعات نوری نمونه­ها نشان داد که افزایش غلظت آنتیموان سبب کاهش عبور در گستره نور مرئی از 72% به 15% و گاف نوری از72/3 به eV 98/2 ­شد. افزایش ناخالصی آنتیموان موجب رفتار کاهشی- افزایشی مقاومت الکتریکی شد. مطالعه ترموالکتریک نمونه­ها، رسانش نوع n را نشان داد. M3 10.29252/ijcm.27.3.739 ER -