RT - Journal Article T1 - Fabrication, characterization and investigation of gas sensing properties of MoO3 thin films JF - ijcmir YR - 2019 JO - ijcmir VO - 27 IS - 2 UR - http://ijcm.ir/article-1-1281-fa.html SP - 475 EP - 486 K1 - molybdenum trioxide K1 - spray pyrolysis K1 - structural and optical properties K1 - electron microscope K1 - gas sensor. AB - در این پژوهش، لایه­های نازک اکسید مولیبدن (α-MoO3) بر زیرلایه­های شیشه­ای به روش اسپری پایرولیزیز لایه­نشانی شد. ازM 05/0 آمونیوم هپتامولیبدات تتراهیدرات به عنوان پیش­ماده و از آب مقطر به عنوان حلال استفاده گردید. اثر فشار گاز حامل طی افشاندن محلول بر ویژگی­های ساختاری، نوری، ریخت‌شناسی و حسگری گازی لایه‌ها بررسی شد. تحلیل الگوی پراش پرتو X (XRD) رشد ترجیحی در راستای [020] و تشکیل فاز آلفای اکسید مولیبدن را نشان داد. شدیدترین قله ها در الگوی XRD نمونه تهیه شده در فشار bar۲ دیده شد که نشان دهنده بلورینگی بهتر این نمونه است. افزون بر این، طیف رامان این نمونه نتایج XRD را تایید نمود. نتایج طیف سنجی UV-Vis نشان داد که نمونه تهیه شده با فشار گاز حاملbar ۸/۱ بیشترین میزان جذب اپتیکی و کمترین گاف نواری (eV 48/3 ~ ) را دارد. تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) ساختار لایه ای نمونه-ها را نشان داد. علاوه بر این، قطعات حسگر گازی بر پایه نمونه­های تهیه شده در فشارهای مختلف گاز حامل ساخته و عملکرد حسگری آن ها بررسی شد. نتایج نشان داد که دمای کار بهینه (یعنی کمترین دما با بیشترین پاسخ حسگری در غلظت مشخص ppm ۲۰۰ بخار اتانول) مقدار ºC 200 و مربوط به نمونه تهیه شده در فشار گاز حامل bar 8/1 است. همچنین بررسی اثر غلظت بخار اتانول در حضور این حسگر، افزایش حساسیت را به ترتیب از مقدار ۴۲/۱ تا ۶۲/۱۵ درصد برای غلظت بخار از ۱۰۰ تا ppm ۱۰۰۰ نشان داد. LA eng UL http://ijcm.ir/article-1-1281-fa.html M3 10.29252/ijcm.27.2.475 ER -