لایههای نازک اکسید ایندیم آلاییده به قلع ITO) ( با ضخامتهای مختلف nm620-130 بر زیرلایههای شیشه نازک به شیوه کندوپاش RF و با استفاده از هدف سرامیکی ITO ( wt. In2O390% و wt. SnO210%) لایه نشانی و سپس در محیط خلأ گرمادهی شدند. سرشتیهای الکتریکی و اپتیکی نمونههای ITO، پیش و پس از گرمادهی در دماهای مختلف به وسیله یک سیستم اندازهگیری مقاومت چارسوزنی و طیف سنج UV/VIS/IR بررسی و مقایسه شدند. ساختار بلوری لایههای گرمادهی شده در دمای بهینه C˚400 با آنالیز پراش پرتو ایکس XRD مورد مطالعه قرار گرفت. از آنالیز SEM نیز برای بررسی ساختار سطحی لایه بهینه بهره گرفته شد. بررسی نتایج حاصل از آنالیزها نشان میدهد که با افزایش ضخامت لایهها و تغییر ساختار بلوری، سرشتیهای الکتریکی و اپتیکی ماده، نظیر مقاومت سطحی، مقاومت ویژه، و شفافیت لایهها تغییر میکند، به طوریکه لایه nm 130 با ضخامت کمتر در دمای C˚400، دارای شفافیت 71/83%، و مقاومت ویژه mcΩ 4- 10 × 34/2 است. لایه nm620 با شفافیت 07/79%، در C˚400 کمترین مقاومت ویژه mcΩ 4-10 × 1 ≈ را نشان میدهد که میتوان آن را به عنوان لایه بهینه ضخیم با مقاومت سطحی □/Ω 6/1 برای کاربردهای مختلف معرفی کرد.
بازنشر اطلاعات | |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است. |