دوره 16، شماره 1 - ( 1-1387 )                   جلد 16 شماره 1 صفحات 91-98 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Investigation of physical properties of conductive, transparent RF sputtered ITO thin films as a function of thickness and post annealing Temperature. www.ijcm.ir. 2008; 16 (1) :91-98
URL: http://ijcm.ir/article-1-652-fa.html
معنوی زاده نگین، ملکی محمد هادی، خدایاری علیرضا، اصل سلیمانی ابراهیم. بررسی خواص فیزیکی لایه‌های نازک رسانا و شفاف اکسید ایندیم آلاییده به قلع برحسب ضخامت و دمای بازپخت در خلأ. مجله بلورشناسی و کانی شناسی ایران. 1387; 16 (1) :91-98

URL: http://ijcm.ir/article-1-652-fa.html


دانشگاه تهران
چکیده:   (2062 مشاهده)

لایه­های نازک اکسید ایندیم آلاییده به قلع ITO) ( با ضخامتهای مختلف nm620-130 بر زیرلایه­های شیشه نازک به شیوه کندوپاش RF و با استفاده از هدف سرامیکی ITO ( wt. In2O390% و  wt. SnO210%) لایه نشانی و سپس در محیط خلأ گرمادهی شد­ند. سرشتیهای الکتریکی و اپتیکی نمونه­های ITO، پیش و پس از گرمادهی در دماهای مختلف به وسیله یک سیستم اندازه­گیری مقاومت چارسوزنی و طیف سنج UV/VIS/IR بررسی و مقایسه شدند. ساختار بلوری لایه­های گرمادهی شده در دمای بهینه C˚400 با آنالیز پراش پرتو ایکس XRD  مورد مطالعه قرار گرفت. از آنالیز SEM نیز برای بررسی ساختار سطحی لایه بهینه بهره گرفته شد. بررسی نتایج حاصل از آنالیزها نشان می­دهد که با افزایش ضخامت لایه­ها و تغییر ساختار بلوری، سرشتیهای الکتریکی و اپتیکی ماده، نظیر مقاومت سطحی، مقاومت ویژه، و شفافیت لایه­ها تغییر می­کند، به طوریکه لایه nm 130 با ضخامت کمتر در دمای C˚400، دارای شفافیت 71/83%، و مقاومت ویژه mcΩ 4- 10 × 34/2 است. لایه nm620 با شفافیت 07/79%، در C˚400 کمترین مقاومت ویژه mcΩ 4-10 × 1   را نشان می­دهد که می­توان آن را به عنوان لایه بهینه ضخیم با مقاومت سطحی /Ω 6/1 برای کاربردهای مختلف معرفی کرد.

متن کامل [PDF 545 kb]   (659 دریافت)    
نوع مقاله: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصي

ارسال نظر درباره این مقاله : نام کاربری یا پست الکترونیک شما:
CAPTCHA

کلیه حقوق این وب سایت متعلق به مجله بلورشناسی و کانی شناسی ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2020 All Rights Reserved | Iranian Journal of Crystallography and Mineralogy

Designed & Developed by : Yektaweb